Schwingeranordnung mit aufgeklebter Lichtwellenleiterfaser für kombinierte AFM / NSOM mit aufgebrachtem piezoelektrischem Material mit Sensor- und Aktuator-Funktion
20. optische Faser, 40, 41, 43. piezoelektrische Materialien
(nach Offenlegungsschrift DE 19510368A1)