1. Sonde bzw. Schwingeranodnung, 4. Kapillare, 5. Messobjekt, 6. Gasdruckregler, 12. Sondenspitze, 88, 89. Piezo-Stellelemente zur Positionierung der Spitze in x-, y- und z-Richtung
(nach Offenlegungsschrift DE 19700747A1)
1. Sonde bzw. Schwingeranodnung, 4. Kapillare, 5. Messobjekt, 6. Gasdruckregler, 12. Sondenspitze, 88, 89. Piezo-Stellelemente zur Positionierung der Spitze in x-, y- und z-Richtung
(nach Offenlegungsschrift DE 19700747A1)